中欣晶圆12英寸第一枚外延片正式下线-凯发彩票

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中欣晶圆12英寸第一枚外延片正式下线
2020-12-31

一、中欣晶圆12英寸第一枚外延片正式下线

    12月30日消息根据中欣晶圆官方的消息,中欣晶圆12英寸第一枚外延片正式下线,成为国内首家独立完成12英寸单晶、抛光到外延研发、生产的企业。

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    官方表示,12月28日杭州中欣晶圆迎来了具有历史意义的一天:在12英寸生产车间,顺利完成了12英寸第一枚外延片下线。官方称,12英寸外延片的生产是当前制约我国产业发展的重要瓶颈。自2019年12月底第一枚12英寸抛光片下线至今,历时12个月的研发、生产,今天首枚12英寸外延片顺利下线,不仅标志着中欣晶圆生产工艺技术的进一步提升,也标志着中欣晶圆为国内集成电路产业发展迎来了一个新的里程碑,同时意味着中欣晶圆在国内半导体外延片生产领域已处于领先地位。


二、12英寸生产线是首条可实现量产的

    在今年7月份的半导体行业盛会semiconchina上,杭州中欣旗下12英寸单晶硅晶棒及硅晶圆片首次亮相。

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    公开信息显示,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司成立于2017年,系日本株式会社ferrocholdings、杭州大和热磁电子有限公司、上海申和热磁电子有限公司合资建立。总投资60亿元人民币,主要从事高品质集成电路用半导体硅片的研发与生产制造。公司引入了国外半导体管理及技术专家团队,共约有600名员工,通过了iatf16949:2016、iso14001、iso45001等体系的认证,是浙江省高新技术企业,拥有3条8英寸、2条12英寸半导体硅片生产线,其中8英寸生产线是目前国内规模最大,技术最成熟的生产线;12英寸生产线是我国首条拥有核心技术,真正可实现量产的半导体硅片生产线。

三、预计2021年年产240万片

    2018年2月,中欣晶圆大硅片项目开工建设。2019年6月30日,中欣晶圆的首批8英寸(200mm)半导体硅抛光片顺利下线,8月23日,首台12英寸工艺设备搬入,目前正在进行12英寸(300mm)硅晶圆产线调试。
根据规划,中欣晶圆目前已经有月产10万片8英寸大硅片的能力,12英寸晶圆将在明年初进入量产,12英寸半导体硅片生产线投产后,月产能能达3万片,并将适时启动20万片产能产线的扩产,预计2021年年产240万片,将大大缓解我国半导体大硅片供应不足的局面。


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