碳化硅部件简介
在材料产品中，cvd-sic是颇具成长性的产品，该产品可作为半导体生产设备的治具及部件。碳化硅是硅和碳1:1结合构成的一种化合物，其硬度仅次于钻石和碳化硼，居世界第三位。ferrotec应用含有硅和碳的气体即cvd工艺法来进行制造。以硅片为例，采用cvd法将碳化硅涂覆在加工成圆盘状的石墨基材表面，切削外缘后，通过高温氧化除去石墨基材，再经过数道后续加工，硅片就完成了。在能源等最尖端产业领域，碳化硅这种高纯度材料受到越来越多的关注。
碳化硅部件简介
| 碳化硅 |
半导体生产设备； |
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