ferrotec系列:硅熔接产品与硅制精密产品
si原材料硅锭
硅舟、喷射管、保温桶等高温炉具设备,主要用于半导体制程氧化、退火、cvd等工艺设备
硅环、硅电极等,应用于半导体硅片干法刻蚀工艺设备
各种圆盘、硅板、籽晶等产品,主要应用于其他半导体工艺
大直径单晶硅棒,主要用于晶圆衬底片生产及硅质半导体设备损耗部件的制造