新材料技术-凯发彩票

新材料技术
新材料技术
ferrotec(中国)基于新材料技术,专业生产精密石英、精密陶瓷、精密硅部件等半导体用新材料。
技术发展路线 精密陶瓷 精密硅制品 精密石英
ferrotec(中国)在精密硅制品领域拥有先进的高精尖加工设备和一批高素质的专业人员。

我们加工出来的硅部件产品和硅舟产品广泛应用于半导体晶圆制造领域,硅舟主要应用于氧化、退火、cvd等工艺;硅聚焦环和分流盘主要应用于等离子体刻蚀机,赢得了国内外半导体厂商的广泛认可。


我们拥有多台高精密检测设备——如:三坐标测量仪、影像仪、粗糙度仪、电阻率测试仪、lpc等多种检测设备。同时拥有50台以上各类高精度高性能加工机床——如:数控加工中心,数控车床,平面研削机,多线切割机,锯切割机,套筒切割机,无心研削机等高精度标准机床;同时拥有自主开发的半导体级别的高纯洗净线,能够满足7nm工艺的要求。


硅制品生产流程
硅锭生长
硅锭生长
硅锭切割
硅锭切割
电阻检测
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纯度分析
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部品加工
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