大硅片技术-凯发彩票

大硅片技术
大硅片技术
ferrotec(中国)12英寸大硅片技术的突破,尤其是拉单晶技术、抛光技术,使得硅片生产能力进一步升级,逐步实现300mm半导体硅片20万片/月的目标。
大硅片技术
wafers for semiconductor
技术发展路线 技术设备能力 生产工艺
生产工艺
silicon wafer process flow
多晶<br>poly silicon
多晶
poly silicon
cz法拉晶<br>cz growing
cz法拉晶
cz growing
晶棒滚磨<br>grinding
晶棒滚磨
grinding
晶棒截断<br>cutting
晶棒截断
cutting
切片<br>slicing
切片
slicing
倒角<br>beveling
倒角
beveling
研磨<br>lapping
研磨
lapping
腐蚀<br>etching
腐蚀
etching
热处理<br>donor kill
热处理
donor kill
背面处理<br>back treatment
背面处理
back treatment
边缘抛光<br>beveling polishing
边缘抛光
beveling polishing
抛光<br>polishing
抛光
polishing
洗净<br>cleaning
洗净
cleaning
检查<br>inspection
检查
inspection
包装<br>packaging
包装
packaging
运送<br>shipping
运送
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