炭化珪素部品-凯发彩票

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炭化珪素部品
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炭化珪素部品

炭化珪素製品の中でsvd-sicは、半導体生産装置の冶具や部品として急成長しています。 炭化珪素は珪素と炭素を1:1の比率で結合された一種の化合物で、ﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞ、ﾎﾞﾛﾝｶｰﾊﾞｲﾄﾞについて3番目の硬度を持っています。 ferrotecの保有する、珪素と炭素のｶﾞｽをcvd工法技術で製造しており、ｳｪｰﾊを例にする と、cvd法で炭化珪素を円盤上のｸﾞﾗﾌｧｲﾄの上面に積層させ、外周部を加工後、高温酸化でｸﾞﾗﾌｧｲﾄ基材を除去します。そして各工程の後加工を実施しｳｪｰﾊが完成します。炭化珪素は航空宇宙、ｴﾈﾙｷﾞｰ等最先端分野で必要とされる材料で多くの注目をされている材料です。
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連絡先番号： 0571-88995910
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耐熱性
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化学的安定性
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耐酸化性
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炭化珪素部品の特徴
ferrotecの炭化珪素製品は高い耐酸性、化学安定性と耐熱性を備えており、2000℃の高温下でも安定した特性を保持します。半導体材料の製造工程で必要なﾎﾞｰﾄ、ﾁｭｰﾌﾞ及びｼﾘｺﾝ代替のﾀﾞﾐｰｳｪｰﾊに広く使用される他、高温で使用されるｸﾗﾝﾌﾟ冶具にも利用されています。また、半導体製造装置、航空分野、自動車分野、人口衛星、ｴﾈﾙｷﾞｰ分野等の最先端分野での幅広く活用されています。
応用シーン
  • 半導体製造装置
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  • 航空宇宙
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  • 自動車
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  • 人工衛星
    人工衛星
  • エネルキー分野
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半導体製造装置
航空宇宙
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エネルキー分野
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matrix diagram of applications in various fields
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半導体生産設備；
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寧夏銀和半導体科技有限公司
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