精密洗浄技術
継続的に向上している半導体制の要求に対応するために、アメリカ、日本の一流技術の支持を頼りに、陶磁器の溶射技術の研究開発と量産を成功させました。
技術的な利点
technical advantages
表面処理事業部発足。
350nmプロセス半導体pvd、cvdおよびエッチャー装置部品洗浄プロセスを開発して、量産開始。
250nmプロセス半導体pvd、cvdおよびエッチャー装置部品洗浄プロセスを開発、量産開始。
精密洗浄技術開発センター設立。
fpd製造装置部品洗浄業務開始。
半導体およびfpdメーカとの取引拡大。
天津富楽徳科技発展有限公司設立。
45nmプロセス半導体製造装置部品の洗浄技術確立、量産開始。
g8.5fpd製造装置部品量産開始。
四川富楽徳科技発展有限公司設立。28nmプロセス導体製造装置部品の量産開始。
富楽徳科技発展（大連）有限公司設立。
g10.5液晶製造装置部品量産開始。
アルミ溶射量産開始。
g6h有機el製造装置部品および16nmプロセス半導体製造装置部品の洗浄プロセス確立。
富楽徳（大連）は大連工場の表面処理分析実験室の原形を建立し、超音波断層スキャン顕微鏡を投入し、cmm、he detector、
電位滴定計、lpc及びicp msなどのハイテク設備を設置し、高純英石英線を建設し、ハイエンド設備をオンラインする。