精密洗浄技術-凯发彩票

精密洗浄技術
精密洗浄技術
継続的に向上している半導体制の要求に対応するために、アメリカ、日本の一流技術の支持を頼りに、陶磁器の溶射技術の研究開発と量産を成功させました。
技術発展路線 技術及び設備の能力 生産プロセス 実用新案国家特許
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超高压水洗设备
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超高压水洗设备

技術背景:

(1) フェローテック(中国)は18年間精密洗浄事業を行っております。数が多くまた成熟な洗浄bkmを持っています。技術上の革新、イノペーションを継続続く。

(2) 世界的に有数な半導体装置メーカー精密洗浄技術を開発しております。

(3) 失効分析及び新技術研究開発能力が上昇するために、洗浄技術力向上を目指し、2019年第1四半期で新たな精密洗浄技術開発センターを設立。

 

洗浄環境:

(1)プロセス別の洗浄ラインを完備し、cu/non-cuラインを構築する事で、汚染リスクの低減を図っております。

(2) ダウンフロークリーンルームにより無塵環境を実現

 

設備能力

設備

上海工場

大連工場

铜陵工場

コンプレッサー

コンプレッサー

コンプレッサー

オイルレスコンプレッサー

cda/n2

cda

n2(99.999%)

n2(99.999%)

           純水

高い純水(>16mω)

超純水(>18mω)

超純水(>18mω)

クリーンルーム

乱流方式クリーンルーム(クラス1000,クラス100)

乱流方式クリーンルーム(クラス1000,クラス100)

ダウンフロークリーンルーム(クラス100,クラス10)

生産環境

多種類製品が混合

専用生産ライン、環境コントロールできる

専用生産ライン、環境コントロールできる

自動化設備

無し

自動ブラスト装置、自動高圧洗浄機

自動ブラスト装置、自動高圧洗浄機


精密計測設備


計測項目

計測機

検出能力

表面パーティクル

パーティクルカウンター

0.1um

液体パーティクル

リキッドパーティクルカウンター

0.1um

寸法検査

三次元測定機

1μm

微細穴

投影検査装置

全自動、1μm

ミクロクラック

keyence

3000x

マイクロクラック

c-sam

超音波顕微鏡



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