磁性流体による真空シール伝動装置-凯发彩票

フェローテック- シール分野の先駆者

フェローシールはシャフトの回転を真空内に伝達する製品です。リークや汚染がない為、クリーンな環境を求められる真空装置に使用されています。いまや動作伝達装置に、フェローシールは幅広く応用されています。シリコン結晶、エレクトロニックポジションインジケーター、スパッタリング、プラズマエッチング、cvd、液晶再生などのプロセスにおいて、フェローシールを使用することで、装置の無駄停止時間削減に貢献しています。

磁性流体による真空シール伝動装置

半導体分野から航空分野まで、フェローシールは厳しい環境下でも高密封性を持つt保つことでを世界中に認められています。当社は多品種の真空シール、真空ロータリーシール、シールユニット及び真空環境下での動力伝達の解決策をご提供しています。

マルチシャフトフェローシール

マルチシャフトフェローシールは、半導体プロセスにおけるロボットに幅広く応用されています。更には10-8torrの超高真空プロセスにも対応可能なフェローシールもご用意しております。

フェロードライブ

フェローテック製フェロードライブは、フェローシール、精密モータとコントローラで構成されるモーター一体型シールです。モーター一体型により、お客様での取り付けや調整の作業の工数を削減できます。フェロードライブは、mocvd、薄膜、光学コーティング、イオンビーム蒸着、イオンビームエッチング、pvd、スパッタリング、イオン注入等に応用されることが多いです。モータ特にサーボモータが必要なプロセスによく応用されています。

ホローシャフトフェローシール

ホローシャフトフェローシールは、カートリッジ機構であり既存のシャフトに挿入することができます。回転シャフトとカートリッジのスリーブシャフトとはoリングによってシールされ、クランプによってシャフトとスリーブは固定されます。典型的なホローシャフトフェローシールの応用例としてはスパッタリングで、この他エレクトロン、中性子あるいはイオン注入用のロータリーバキュームユニオン、ロータリーターゲット、そしてx線や光学系装置があります。ホローシャフトフェローシールには、スルーホールタイプ、フランジタイプを揃えております。

ソリッドシャフトフェローシール

ソリッドシャフトフェローシールには、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプ、フランジ付きタイプ、ヘビーデューティタイプと、幅広い用途に応じた機種を揃えております。シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形状は小径の物を除き、キー溝機構を標準品として揃えており、その他オプションとして、フラット面、ネジ付、及び穴付などの設計も可能です。当社のスタンダードフェローシールは、ミニチュアタイプ、スルーホールタイプの一部を除き、高温・高荷重あるいは、高速回転使用に対応できる水冷タイプもご用意しております。

フェローシールの特性

ハーメティック
シーリング

フェローシールは、シャフトのステージ上に『磁性流体』で液状のoリングを形成しております。これによりガス・蒸気・霧・微細粒子に対してハーメティックシールを形成します。シールされた雰囲気からの漏れは、ヘリウムリークディテクタの最高感度(当社heリークディテクタにて1*10-11torre/sec以下 )でテストしても検出されません。

ロングライフ

「流体oリング」は、不活性で安定した磁性流体により形成されています。10年以上もの間、メンテナンスフリーで運転中の機器も多くあります。

高信頼性

フェローシールは、シンプルな磁気回路と安定した磁性流体で構成されています。ベアリングだけが機械摩損されるので、ベアリングの寿命がシールの寿命といわれます。

汚染無し

フェローシールは、劣化しないため、汚染粒子によるシステム機能の低下は起こり得ません。加えて低い蒸気圧のフェローフルイドは、10-8torrの超高圧真空においてさえ、真空度を完璧に保持します。

最適トルク伝達

シャフト1本でトルク伝達が行えます。これにより、100％のトルク伝達とバックラッシュのない同相動力伝達が行えます。

低ダンパーと高速
回転能力

フェローシールは、非接触型シールであり、また、磁性流体の粘性抵抗は低く、動作は非常になめらかです。そのため、高速回転時においても安定した能力を発揮します。

カスタマイズフェローシール

真空シールはさまざまな製品設計における技術課題へのソリューションを提供します。フェローテック（中国）はお客様のニーズを中心に、設計、製造能力を活かしてお客様の製造環境に最適なシールをご供給しています。