セラミックス
フェローテック(中国)はセラミックス技術を基に、石英、セラミックス、シリコンパーツなどの半導体用の新材料を生産しています。
技術的な利点
technical advantages
当社のシリコンパーツやボートは半導体製造装置で幅広く使われています。シリコンボートは主に熱酸化、アニーリング、lpcvdなどの熱処理炉に使用され、シリコンフォーカスリングやシャワーヘッドは主にプラズマエッチング装置に使用されており、 国内外の多くの半導体メーカーからその優位性を高く評価されています。
ferrotecは高性能な製品を検査する上で必要な、三次元測定器、プロジェクター、粗さ計、比抵抗計、lpc、その他の試験装置等、様々な高精度の試験装置を備えています。 また、50以上の高精度高性能なcncマシニングセンタ、cnc旋盤、平面研削盤、ワイヤーソー、バンドソー、溝切機、センタレス研削盤等を稼動しています。自主開発の半導体装置向けパーツの高純度洗浄ラインを備えており、7nmプロセスの要求をも満たせます。
